2017-09-27
歐姆龍MEMS流量傳感器是一款高精度，檢測流量范圍廣，適用于各種需求的流量計測的傳感器。
產(chǎn)品特點(diǎn):能最大限度發(fā)揮燃料電池發(fā)電效率的高精度MEMS流量傳感器
技術(shù)特點(diǎn):應用氣體流量測試技術(shù)檢測僅為1毫米/秒的氣體流量
能最大限度發(fā)揮燃料電池發(fā)電效率的高精度MEMS流量傳感器
技術(shù)特長(cháng)氣體流量檢測技術(shù)
應用氣體流量檢測技術(shù)，檢測僅為1毫米/秒的氣體流量
為了檢測微量的流速，就需要縮小裝在MEMS流量傳感器檢測部位的MEMS流量傳感器芯片。通過(guò)充分發(fā)揮歐姆龍獨創(chuàng )的高精度加工技術(shù)，創(chuàng )造出世界最小尺寸(1.55毫米 x 1.55毫米，厚0.4毫米)的芯片。 其測試原理如圖所示，在沒(méi)有氣體流動(dòng)的情況下以加熱器為中心，溫度分布左右對稱(chēng)；如有氣體流動(dòng)，加熱器排出的風(fēng)的上方就會(huì )變冷，風(fēng)的下方就會(huì )變熱，從而導致溫度失衡。此溫度差作為兩個(gè)熱電偶的電動(dòng)勢差，可用于檢測流速及流量。另外，通過(guò)應用歐姆龍獨創(chuàng )的蝕刻技術(shù)等，即使是這種超精細的MEMS，也能高精度地實(shí)現質(zhì)量穩定的大批量生產(chǎn)。憑借這種高度的MEMS生產(chǎn)性，歐姆龍大幅度降低了產(chǎn)品成本，從而不僅在燃料電池方面，還可廣泛應用于檢測精密設備的空冷狀態(tài)等各種領(lǐng)域。
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