2019-03-28
MEMS非接觸式溫度傳感器的特點(diǎn)以及使用范圍介紹
歐姆龍曾在國際福利機械展上推出新型的非接觸式溫度傳感器。這種傳感器在檢測部位應用了歐姆龍獨特的MEMS技術(shù)，具有可感測紅外線(xiàn)的高靈敏度。接下來(lái)歐姆龍代理商鼎悅電子對MEMS非接觸式溫度傳感器的特點(diǎn)以及使用范圍做具體介紹。
由于MEMS技術(shù)，傳感器元件被縮小到150微米，將傳感器元件排成16*16的陣列時(shí)，芯片尺寸只有6mm見(jiàn)方，據稱(chēng)為"業(yè)界最小水平"，靈敏度提高至原來(lái)的7倍。
鼎悅電子表示，非接觸溫度傳感器具有攝像頭及熱釋傳感器所不具備的特點(diǎn)，即對照明環(huán)境適應性強，可感應到處于靜止狀態(tài)的人。但因其靈敏度較低，需要縮小感應區域。因此，要在較大的空間內進(jìn)行檢測，需要安裝用來(lái)驅動(dòng)非接觸溫度傳感器的機構以及多個(gè)傳感器，所以目前尚未普及。
普通的非接觸溫度傳感器元件，很多紅外線(xiàn)都會(huì )穿透紅外線(xiàn)吸收膜，因而靈敏度較低。此次通過(guò)采用在開(kāi)發(fā)液晶用背照燈時(shí)培育的光波控制技術(shù)，開(kāi)發(fā)出了可使紅外線(xiàn)匯聚到紅外線(xiàn)吸收膜的微鏡。開(kāi)發(fā)這種微鏡時(shí)，研究人員在以往很難形成曲面的硅晶圓上制作出了自由曲面。 由于可在硅晶圓上形成微鏡，因此能在晶圓級別上使傳感器元件與鏡片進(jìn)行真空接合，從而減少釋放到空氣中的熱量，以此提高靈敏度?？稍诒３猪憫俣炔蛔兊那闆r下將靈敏度提高至原來(lái)的7倍。這樣，便可使感應區域擴大至原來(lái)的7倍。據介紹，芯片的靈敏度為350V/W，響應速度為3ms左右。
MEMS非接觸式溫度傳感器的使用范圍：
MEMS非接觸式溫度傳感器可以廣泛應用于身邊的節能型家電、BEMS、HEMS、甚至工廠(chǎng)自動(dòng)化領(lǐng)域。感應區域擴大至原來(lái)的7倍后，可在店鋪及車(chē)站等場(chǎng)所，實(shí)時(shí)檢測人群的擁擠情況，由此可將非接觸溫度傳感器用于空調控制用途，還能用于檢測夜間有人闖入、甚至對靜止人物也能檢測高靈敏度的人體感應傳感器。
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