2019-05-08
歐姆龍采用獨創(chuàng )的超細微加工技術(shù),開(kāi)發(fā)了裝配有流速檢測元件的MEMS流量傳感器D6F, 擁有引以為傲的世界最高級別靈敏度,甚至是1毫米/秒的氣體流速變化也能精確檢測。可以測量空氣、 天然氣以及LPG氣體等等,按測量類(lèi)型來(lái)說(shuō)主要分為三大類(lèi):1、測量空氣流速 2、測量氣體流量 3、測量空氣壓差。
三大特點(diǎn):
1、高精度--通過(guò) ASIC 的線(xiàn)性溫度補償,實(shí)現 ±3%RD(25 ~ 100% F.S.);
2、高靈敏度--獨特的 MEMS 構造,對微風(fēng)也能進(jìn)行檢測;
3、體積小--采用世界最小等級的 MEMS 元件,實(shí)現產(chǎn)品的小型化。
其中,D6F-W/-V/-P等系列流量傳感器采用歐姆龍獨創(chuàng )的立體流路結構,防塵性出色,配備灰塵分離機構(旋風(fēng)方式),減小了對傳感器芯片的影響,從而實(shí)現了高可靠性。更小型化的尺寸,可以安裝在任何位置,也適用多種用途。
歐姆龍MEMS流量傳感器檢測原理:在沒(méi)有氣體流動(dòng)的情況下以加熱器為中心,溫度分布左右對稱(chēng)。流動(dòng)的狀態(tài)下,加熱器上風(fēng)向的溫度低,下風(fēng)向溫度高,溫度分布不再對稱(chēng)。將該溫差作為熱電堆的電動(dòng)勢之差進(jìn)行傳感,可測量流量、流速而不影響溫度、壓力。此外,熱電堆為熱電動(dòng)勢方式,與電阻式相比,有助于降低功耗。
隨著(zhù)國內天然氣市場(chǎng)的快速發(fā)展,清潔能源也越來(lái)越受到大眾的重視??梢灶A見(jiàn)的是,歐姆龍小型化、高性能MEMS流量傳感器,將會(huì )在智能燃氣表、燃料電池、燃氣鍋爐以及空氣能熱水器等應用領(lǐng)域擁有更多的機會(huì )。
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