2019-10-30
流量傳感器是檢測氣體流量及流速的傳感器。流量傳感器一般有旋槳式、浮子式、超聲波式、熱線(xiàn)式等。歐姆龍的流量傳感器采用 MEMS 熱線(xiàn)式，與其他類(lèi)型相比具有相對優(yōu)異的特性。
各種流量傳感器的方式及其特點(diǎn)
一、流量傳感器的構造
歐姆龍的流量傳感器為氣體專(zhuān)用，可測量各種氣體的質(zhì)量流量。流量傳感器的基本構成由測量流量的 MEMS 流量傳感器芯片、放大其輸出的放大電路、以及根據使用用途經(jīng)CAE(computer-aided engineering)優(yōu)化的流路結構構成。由于氣流是矢量流，因此這三個(gè)構成要素的優(yōu)化設計非常重要。
流量傳感器內部結構例
歐姆龍的 MEMS 流量傳感器有以下 3 大類(lèi)。它們分別是輸出流量的質(zhì)量流量傳感器、輸出流速的風(fēng)量傳感器、檢測細微差壓的差壓傳感器。
流量傳感器的形狀及尺寸因被測氣體的種類(lèi)、流量、接頭形狀而異。
MEMS 流量傳感器芯片的基本結構如圖 3 所示。這種傳感器芯片采用使用熱線(xiàn)的質(zhì)量流量檢測方式。其芯片中央具有加熱器，上游側的熱電堆 (A)及下游側熱電堆 (B)配置在加熱器的兩側，熱電堆附近配置有基座測溫體，它們均是采用半導體工藝制造的。加熱器和熱電堆列組的底部形成空腔，使得熱電堆可高效檢測加熱器的熱量。
流量傳感器芯片結構
二、質(zhì)量流量傳感器的檢測原理
如圖 4 所示，恒定電流流向芯片中央的加熱器，產(chǎn)生熱量。無(wú)風(fēng)時(shí)，加熱器周?chē)臒岱植际菍ΨQ(chēng)的，因此 Vu 和 Vd 兩個(gè)熱電堆的電動(dòng)勢相等。
另一方面，傳感器表面有氣體流動(dòng)時(shí)，熱源隨著(zhù)氣流偏向下游側，下游熱電堆的電動(dòng)勢變大，Vd＞Vu。兩個(gè)熱電堆的輸出差大致與通過(guò)傳感器表面的氣體質(zhì)量流量的平方根成正比。輸出靈敏度和質(zhì)量流量取決于氣體的組成比?？梢酝ㄟ^(guò)放大電路進(jìn)行放大，以電子方式檢測氣體流量。風(fēng)量傳感器經(jīng)調整后輸出的電壓與質(zhì)量流量為 25°C、101.3kPa 時(shí)的流速相當。
當流動(dòng)方向垂直于熱電堆和加熱器時(shí)。
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